光刻机重磅消息来了!明天关注海立股份、蓝英装备等反包大阳线预期
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2025-08-16 19:28:07

据杭州经信官微消息,近日,位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯:首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。光刻机重磅消息来了!明天关注海立股份、蓝英装备等反包大阳线预期

据悉,依托省重点实验室,研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式走向市场。团队负责人称:“这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’!”

据研发团队相关负责人介绍,取名“羲之”,是因其在芯片上刻写电路的精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节,通过高能电子束在硅基上“手写”电路,精度达到0.6nm,线宽8nm,可灵活修改设计无需掩膜版,如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画,特别适合芯片研发初期的反复调试。

据了解,此类设备先前长期受国际出口管制,国家实验室、中科大、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购。“羲之”的落地彻底打破这一困局,其定价低于国际均价,目前已与华为海思等企业及多家科研机构展开接洽。

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