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1月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（下称“中科仪”）即将迎来IPO前的“大考”——北交所上市委的审议，距离2025年6月30日申请被受理仅有半年之久，其保荐机构为招商证券。

IPO日报注意到，这家隶属于中科院的半导体制造设备核心部件提供商业绩呈增长态势，但毛利率小幅下滑，三年半累计分红2.405亿元。

张力制图

中科院下属公司

中科仪成立于2001年，源自中国科学院，是半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。

中科仪目前的实际控制人为中国科学院控股有限公司（即国科控股），国科控股持有国科科仪100%股权，其通过国科科仪控制公司35.21%股份，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。其中，干式真空泵主要应用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造领域，真空科学仪器设备则主要面向国家重大科技基础设施和科研领域。

作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，中科仪拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司及其前身先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项，国家重点新产品6项。

IPO日报注意到，国科控股共有持股企业40余家，行业涵盖新一代信息技术、高端装备制造、能源环保、新材料、出版传媒、生命健康、科技金融、创新服务等多个领域，如联想控股、中科三环、东方中科、中国科传、联泓新科、中科信息、国盾量子等均为上市公司。一旦中科仪上市成功，国科控股旗下上市公司将再增一员。

招股书显示，中科仪是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，也是唯一在集成电路先进制程及清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业。

干式真空泵领域，中科仪的研发创新打破欧美及日本企业的长期垄断。干式真空泵产品满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3D NAND等存储器工艺的生产需要，已在中国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设备制造企业，并已通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅基半导体外，公司干式真空泵产品也可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

此次北交所IPO，中科仪拟募集资金8.25亿元，其中近2.31亿元用于干式真空泵产业化建设项目，约4.74亿元用于高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，约1.21亿元用于新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆把研发项目，募集资金将重点助力公司核心产品产能提升与技术迭代，强化在半导体及真空设备领域的竞争优势。

毛利率小幅下滑

2022年—2024年及2025年上半年（下称“报告期”），中科仪的营收分别为6.98亿元、8.52亿元、10.82亿元、5.74亿元，营收保持增长态势；净利润分别为4.98亿元、6亿元、1.93亿元、1.38亿元；扣非后净利润分别为6186.11万元、7298.08万元、8787.75万元、6321.92万元。

2025年前九个月，中科仪实现营业收入8.45亿元，同比增长21.93%；归母净利润5.49亿元，同比增长359.07%；扣非归母净利润为7870.59万元，同比增长8.04%。

需要指出的是，报告期内中科仪共进行了4次股利分配，累计派发现金红利或股利2.405亿元。2023年5月，公司共计派发现金红利3436.78万元。2023年9月，公司决议共计派发现金红利1.03亿元。2024年5月，公司决议共计派发现金红利6873.56万元。2025年5月，公司决议分配现金股利3436.78万元。

毛利率方面，公司报告期各期分别为28.66%、33.02%、29.44%以及28.15%，呈现小幅下滑趋势。

对此，公司在招股书中给出的解释是，受市场竞争影响，报告期内公司部分产品销售单价下降，毛利率存在一定波动。