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【央视新闻客户端】

滨州日报/滨州网讯?他是扎根滨州、攻克半导体光刻胶“卡脖子”难题的科技先锋，也是以技术突破推动光刻胶国产化浪潮的领航者——国科天骥（山东）新材料有限责任公司总工程师许箭，从中国科学院的技术骨干，到国产光刻胶产业的破局者，3年来他日夜兼程，致力于打破国外技术垄断。作为“渤海英才·杰出贡献专家”，他不仅率领团队突破高端光刻胶核心技术，将产品验证周期从2至3年缩短至6个月，还积极构建起“产学研用”协同生态，在重重技术封锁中闯出了一条自主可控的发展之路。

破“卡脖子”困局：光刻胶国产化的“攻坚尖兵”

光刻胶被誉为半导体制造“皇冠上的明珠”，其核心技术长期被美日企业垄断，导致我国高端光刻胶整体国产化率不足10％，关键材料不得不长期依赖国外进口。2021年3月，许箭毅然从上海奔赴滨州，怀着“用毕生所学啃下光刻胶国产化硬骨头”的信念，开启了充满挑战的技术攻坚之路。

高端光刻胶材料配方复杂，涉及成膜树脂、光致产酸剂等多组分，对材料性能与工艺控制要求极高，还有生产难度大、验证周期长等多重困境。许箭带领团队扎根研发一线，实行“人可轮休、设备不停、研发不歇”的工作模式，即便周末、节假日也持续攻关。经过不懈努力，团队成功突破ArF/KrF光刻胶、抗反射涂层、旋涂碳涂层等核心材料技术，完成了30余款材料的开发与验证。

其中，长期依赖日本进口的TUA1000系列光刻材料，仅用时6个月就实现了与进口产品技术指标的全面对标；另有10余款产品获得国内头部12寸芯片制造企业的验证，成功获取量产订单。尤为引人注目的是，在客户验证环节，该团队创造了12寸芯片产线在6个月内一次性通过PRS－STR－MSTR全流程良率验证的行业纪录，将通常需要2至3年的验证周期大幅缩短，为国内芯片制造企业抢占了宝贵的发展先机。

此外，由许箭主导开发的EUV单分子树脂光刻胶，凭借2项发明专利突破了国外技术封锁，相关成果转化项目先后入选山东省新旧动能转换重大项目库，及新材料创新应用示范项目。

在许箭的领导下，团队始终以“破解光刻胶国产化难题”为核心目标，全面深耕技术攻坚、产线建设与质量管控全过程，成功推动国科天骥承担的国家科技重大专项“02专项”成果转化项目——“超高精细光刻胶项目”高效落地。目前，该公司已实现光刻胶年产能达120吨（约合30000加仑），产品广泛应用于高端逻辑芯片、存储芯片及MEMS芯片制造，向下覆盖28nm以下制程，向上兼容55/40nm市场；待2025年底3期扩建项目完成后，年产能将提升至220吨，预计满产后可满足国内20％的市场需求，为我国集成电路产业链自主安全构建起坚实的“材料屏障”。

许箭深刻认识到，要实现光刻胶国产化必须构建“产学研用”深度融合的协同生态。他立足滨州产业优势，积极推动技术成果与区域发展紧密结合，让一颗颗“科创种子”在这片沃土上生根发芽，最终成长为支撑国家战略的“产业大树”。

为破解高校研发与企业应用脱节的难题，许箭联合山东航空学院共建“滨州市半导体光刻材料重点实验室”，聚焦ArF/KrF光刻胶用树脂的制备与纯化、光刻抗反射及旋涂碳涂层材料制备、半导体光刻材料批量化技术和测试方法三大方向开展研究。目前，实验室已按计划推进光刻材料用高性能树脂制备工艺优化。与此同时，他还联合山东航空学院、滨州裕能、滨化集团共同组建“电子化学品滨州技术创新中心”，着力打通“高校研发——企业中试——市场应用”创新链条；并推动公司先后获批滨州市企业技术中心、滨州市重点实验室，进一步提升了区域研发协同能力。

此外，依托中国科学院化学研究所和理化技术研究所的顶尖科研团队，许箭积极构建“院所＋企业”合作模式，将基础研究与产业应用深度衔接。在他的带领下，研发团队累计申请专利96项（含3项国际专利），其中发明专利78项、实用新型专利18项，逐步构建起覆盖光刻胶材料全链条的专利保护池。

公司初创期仅2名员工，招聘困境曾让许箭倍感受挫。但他迅速调整策略，积极依托滨州本地高校资源，通过山东航空学院教师的引荐，成功招募到首批员工，随后在滨州市和滨州经济技术开发区组织部门的支持下，进一步深化与高校的人才合作。他创新建立“传帮带”培养机制，亲自担任核心骨干的理论培训与技能导师，着力构建“博士领衔＋硕士骨干＋本科辅助”的梯度人才结构体系。目前，该团队已拥有13名博士（其中正教授5名）和24名硕士，50余人的研发团队深入实验室与车间一线，形成了“理论研究——工艺优化——生产管控”的闭环研发能力。如今，早期培养的首批员工现已成长为技术骨干，多人承担起光刻胶研发与产业化关键任务，不仅推动了公司发展，也为滨州培育了一批“既懂技术又懂工艺”的半导体材料专业人才。

守报国之心：从科研人到产业人的“初心答卷”

从中科院科研团队的技术骨干，到成功带领企业实现光刻胶量产的总工程师，许箭的转型之路，始终践行着“科技报国”的初心。

在公司初创阶段，许箭身兼数职，既主导技术研发，又承担员工招聘和培训工作，研发工作亲力亲为，员工培训倾囊相授。2022年上海疫情期间，为推进样品光刻测试平台验证，他被封控3个月，尽管内心焦虑，却始终远程协调团队持续攻关，确保项目进程不受影响。3年来，办公室深夜常明的灯光、车间里反复调试的身影，已成为他的工作常态。他带领着团队一路迎难而上，攻克了一个又一个的技术难关，用实际行动践行着“路虽远，行则将至；事虽难，做则必成”的信念。

作为一名共产党员，许箭始终将“国家需求”作为导向。当前，他正全力推进先进技术节点高端光刻材料研发与产业化，力争关键指标对标进口产品；积极推动建立国产化生态联盟，联合中科院及上下游企业攻坚高纯度树脂等关键原材料技术，缩短产品验证周期，并与下游头部企业合作定制专用光刻胶解决方案，力争2026年实现批量应用，以全链条自主可控破解外部技术封锁。

许箭正带领着国科天骥书写光刻胶国产化的“加速度”。从实验室技术突破的“星星之火”到产业端规模化应用的“燎原之势”，他以科技匠心铸就“国之重器”，以产业担当赋能滨州发展，成为新时代科技工作者“扎根地方、服务国家”的生动典范。

原标题：发展新质生产力的“人才密码”系列报道|科技匠心破壁垒 光刻领航强滨州——记“渤海英才·杰出贡献专家”许箭

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