另外,被誉为“中国刻蚀机之父”的中微公司创始人、董事长、总经理尹志尧计划自公告披露之日起15个交易日后的3个月内,通过集中竞价方式减持公司股份不超过29万股,占公司总股本比例不超过0.046%。拟减持原因为:“因本人已从外籍恢复为中国籍,为依法办理相关税务的需要。”
截至1月9日收盘,中微公司股价报336.68元/股,总市值为2108亿元。尹志尧拟减持股票市值约为9764万元。
公开资料显示,尹志尧,1944年生,中国科学技术大学学士,加州大学洛杉矶分校博士。
1984年至1986年,尹志尧就职于英特尔中心技术开发部,担任工艺工程师;
1986年至1991年,就职于泛林半导体,历任研发部资深工程师、研发部资深经理;
1991年至2004年,就职于应用材料,历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官;
2004年至今,担任中微公司董事长、总经理、核心技术人员。
2024年,尹志尧从公司获得的税前报酬总额为1485.14万元。
此前,中微公司2022年年报中有明确标注尹志尧为美国公民;2023年年报,未披露其国籍信息;2024年年报,正式确认尹志尧已恢复中国国籍。
▲尹志尧。视频截图
据悉,尹志尧,1944年出生在北平一个爱国世家,中学就读于久负盛名的北京四中,本科毕业于中科大。
大学毕业后,尹志尧在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。1978年,他选择继续深造,考入北京大学化学系。1980年,他获北大化学系硕士学位,后在亲戚帮助下,到加州大学洛杉矶分校攻读博士学位。仅用三年半,他就拿到物理化学博士学位。
据报道,2004年,时任上海市经委副主任、曾推动中芯国际落地上海的江上舟,正为国产等离子刻蚀机的市场空白发愁。
那一年的上海世界半导体设备展上,尹志尧以应用材料公司副总裁、刻蚀产品事业部总经理的身份参展,与江上舟相遇。
彼时江上舟已罹患肺癌,仍系心国内刻蚀机的自主研发,多番动员尹志尧回国创业。对尹志尧高龄回国的踌躇,江上舟豪言:“我是个癌症病人,只剩下半条命,哪怕豁出这半条命,也想为国家造出光刻机、等离子刻蚀机,我们一起干吧!”
这一席话,坚定了尹志尧的创业决心。随后经尹志尧游说,麦仕义等十余位硅谷人才一同归国,决意“瞄准”中国芯片刻蚀设备领域的空白。
3年后,从零起步的中微公司研发出了首台刻蚀设备、薄膜设备,为产业需求提供优质高效和低成本的解决方案。
近十年间,尹志尧带领团队持续突破技术壁垒,半导体设备领域的全国首台套捷报频传:
2015年,率先提出“皮米级”加工精度概念,开发出世界先进水平的CCP和ICP等离子体刻蚀设备;
2018年,自主知识产权刻蚀机进入客户5纳米产线;
2010年—2025年,推动开发了MOCVD\LPCVD\ALD\EPI\PEVCD一系列国际领先的薄膜设备;
2025年,ICP双反应台刻蚀机精度达0.1nm(纳米),技术达到全球先进水平。
中微公司最新披露的三季报显示,2025年前三季度,公司保持强劲发展势头,实现营业收入80.63亿元,同比增长46.40%;实现归属于上市公司股东净利润12.11亿元,同比增长32.66%。