阿斯麦赢得台积电和三星承诺，使用其新一代EUV光刻机
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2026-09-08 14:44:54
9月8日，荷兰光刻机制造商阿斯麦（ASML）连续发布三则公告，宣布与台积电、三星电子及英特尔晶圆代工（Intel Foundry）推进高数值孔径（High NA）极紫外光刻（EUV）技术应用。其中，台积电计划自2030年起将阿斯麦High NA用于先进制程大规模生产；三星计划于2028年前首次将High NA用于DRAM大规模生产。英特尔则表示，目前已处理超过100万片采用High NA相关技术的晶圆。（广角观察）
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