高端装备自主化突破，高端装备ETF嘉实涨1.31%
截至3月30日11点7分，上证指数跌0.07%，深证成指跌0.40%，创业板指跌0.79%。大豆、种植业与林业、草甘膦等板块涨幅居前。
ETF方面，高端装备ETF嘉实（159638）涨1.31%，成分股国博电子（688375.SH）、航天发展涨超5%，航天南湖（688552.SH）、富士达（920640.BJ）、中国卫星（600118.SH）、航天电器（002025.SZ）、航天电子（600879.SH）、中国卫通（601698.SH）、铂力特（688333.SH）、天奥电子（002935.SZ）等上涨。
消息面上，我国首台商用2×6MV串列加速器近日在江西瑞昌核物理应用研究院加速器研发中心完成组装与冷调试，关键性能指标达到设计要求，正式完成生产下线。该设备核心部件与关键系统均实现自主研发，具备完全自主知识产权，标志着我国在高端串列加速器装备自主化研制领域取得重要突破，可广泛应用于核物理、航空航天、材料科学等前沿基础研究及半导体高能离子注入、生物医学等领域。
东吴证券表示，2026年3月25-27日SEMICON展会期间多家龙头设备商推出重磅新品与技术升级方案。北方华创推出了全新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、12英寸QomolaHPD30混合键合设备、高深宽比TSV电镀（ECP）设备AusipT830等，其中12英寸NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备将ICP小尺寸刻蚀的深宽比提升到数百比一，均匀性带入埃米级，华创还推出了12英寸QomolaHPD30混合键合设备，是国内率先完成D2W混合键合设备客户端工艺验证的厂商。中微公司推出新一代电感耦合ICP等离子体刻蚀设备、高选择性刻蚀机、智能射频匹配器以及蓝绿光MicroLED量产MOCVD设备等，拓展刻蚀设备、薄膜沉积设备及核心智能零部件领域的产品组合；拓荆科技推出了专为解决键合界面空洞问题而设计的精准修复设备、低介电薄膜设备PECVD、PEALD原子层沉积设备VS300Astra-sSiN等高端装备。
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